颁布功夫：2025-03-19浏览量：1702次起源：尊龙凯时科技
高机能真空十轴位移台
高机能真空十轴位移台是尊龙凯时为满足客户需要专门研发的定造产品 ，合用于真空环境下的高精度激光扫描 ，光路搭建等其他对地位精密有要求的领域。真空十轴位移台重要由两个部门组成 ，别离为六轴样品位移台和四轴探测器位移台 ，样品位移台用于样品装置固定 ，探测器位移台用于装置激光探测器 ，两组位移台都可能进行相对独立的运动 ，且相互不过问。
真空十轴位移台蕴含四种运动模式：平移、起落、旋转、偏摆。终端可使用手动调安然装进行调整。单轴双向沉复定位精度可达±1.4μm ，定位精度可达±3μm；整体单向直线度误差±6μm。各轴关系匹配角度误差不大于0.5°；距离误差1mm左右。
该套产品使用环境可达高真空度1x10-5Pa ，所有原器件均选取真空合用资料 ，环境适应性强。
旋转轴全数使用光栅尺进行关环反馈 ，平移起落轴预留光栅尺接口 ，目前使用半关环进行节造 ，后期也可加上光栅尺完玉成关环 ，精度可进一步提升。
四轴探测器位移台
高机能真空十轴位移台
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程220° ，选取伺服电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行结尾地位反馈 ，实现全关环 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 平移轴-Rx'(2θ) 带载实测精度 | |
| 行程 | -10-210° |
| 定位精度 | ±0.0073° |
| 双向沉复定位精度 | ±0.00465° |
真空步进电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆
行程700mm。选取步进电机+直线导轨+滚珠丝杆。整体为半关环 ，预留光栅尺接口。重要为悬臂使用 ，精度要求不高。
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆
行程120mm。选取伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成关环 ，进行精度跟踪 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 起落轴-X1 带载实测精度 | |
| 行程 | 120mm |
| 定位精度 | ±14.55μm |
| 双向沉复定位精度 | ±1.4μm |
真空步进电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆
行程180°。选取步进电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构。性价比高 ，经济实用。
| 旋转轴-ψ 带载实测精度 | |
| 行程 | 180° |
| 定位精度 | ±0.029° |
| 双向沉复定位精度 | ±0.01° |
六轴样品位移台
高机能真空十轴位移台
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程107.5°。选取伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行结尾地位反馈 ，实现全关环 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 旋转轴-Rx(θ) 带载实测精度 | |
| 行程 | -12.5-95° |
| 定位精度 | ±0.0085° |
| 双向沉复定位精度 | ±0.0025° |
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆
行程400mm。选取伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成关环 ，进行精度跟踪 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 平移轴-Y 带载实测精度 | |
| 行程 | -20-380mm |
| 定位精度 | ±9.8μm |
| 双向沉复定位精度 | ±4.7μm |
真空伺服电机+减速机+定造蜗轮蜗杆+弧形光栅
行程40°。选取伺服电机+减速机+定造蜗轮蜗杆结构+弧形光栅。光栅尺进行结尾地位反馈 ，实现全关环 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 偏摆轴-Ry(tilt) 带载实测精度 | |
| 行程 | -20-20° |
| 定位精度 | ±0.00155° |
| 双向沉复定位精度 | ±0.0008° |
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆
行程200mm。选取伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成关环 ，进行精度跟踪 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 平移轴-Z 带载实测精度 | |
| 行程 | 200mm |
| 定位精度 | ±2.75μm |
| 双向沉复定位精度 | ±1.15μm |
真空伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆
行程180mm。选取伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成关环 ，进行精度跟踪 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 起落轴-X 带载实测精度 | |
| 行程 | 180mm |
| 定位精度 | ±6.6μm |
| 双向沉复定位精度 | ±1.4μm |
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程360°。选取伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行结尾地位反馈 ，实现全关环 ，通过驱动可做精度赔偿；可实现断电自锁。
| 旋转轴-φ 带载实测精度 | |
| 行程 | 360° |
| 定位精度 | ±0.023° |
| 双向沉复定位精度 | ±0.007° |
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尊龙凯时科技为客户定造的FMS60VR-40真空高精度整体台面平移台可用于在真空环境中进行精密的位移和定位。该系统拥有牢固的结构和卓越的机能 ，在各类精密科研和工业出产环节宽泛利用 ，其中蕴含光学、半导体、纳米技术、航空航天等领域。
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