

FMSZ140C 系列直线电机垂直起落台
高精度、结构紧凑、集成矫捷
尊龙凯时科技 FMSZ140C 系列直线电机垂直起落台,专为必要高精度垂直定位的尝试室和工业利用而设计。FMSZ-C 系列起落台选取直线电机驱动,具备高精度、高不变性、低噪音等特点,结构紧凑,易于集成,提供多种行程和配置选择,满足多样化的利用需要。
重要特点
多种行程可选,满足更多利用需要: 提供 50mm 和 100mm 两种行程选择,结构紧凑,可矫捷集成于各类空间受限的利用场景。
精密结构,不变靠得住: 选取集成式一体化交叉滚柱导轨和高瓢荼鸨线电机,结合尊龙凯时科技尺度扮装置工艺,确保卓越的运动精度和持久不变的靠得住性,Pitch 和 Yaw 精度阐发优异。
高分辨率,精密节造: FMSZ140C 系列起落台选取直线电机驱动,占有极佳的微步能力,共同尊龙凯时科技高机能节造器,可实现微米级的精密定位,满足对极致精度的钻营。
两种配沉规划,适应分歧利用环境: 可选配恒力弹簧或气缸配沉,满足分歧负载和速度需要,保障运动安稳、一致性高。
超静音运行,打造舒服环境: 超静音位移台,合用于对噪音敏感的尝试室环境和高机能工业场所。
壮大软件支持,轻松操控: 免费尺度版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发说话 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高机能节造器,实现复杂运动: 节造器支持圆弧插补、直线插补、地位影象和肆意图形导入,可满足各类复杂运动节造需要。
矫捷通讯,无缝衔接: 可选配 EtherCAT 总线节造,实现高速、不变的数据传输。
产品利用
精密Z轴 Precision Z-axis、高端仪器设备 High-end Equipment、半导体检测 Semiconductor Inspection、半导体切割 Semiconductor Cutting
组合搭配

It can be ?exibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
机能实测

位移台-节造器选型表


※ 备注
[1]:竖直装置,台面中心轴向负载。
[2]:最幼运动增量不等同于分辨率,最幼运动增量是指运动系统在陆续、不变情况下可能移动的最幼量。通常来说,系统分辨率远幼于最幼运动增量K伎即峁购捅嗦肫鞫韵低澄蟛畹挠跋,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最幼运动增量越发靠近于分辨率。
[3]:精度丈量数据是平台在水平搁置的情况下使用激光过问仪丈量的数据,丈量尺度参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保障值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,凭据负载和节造器的分歧会有区别。

